Ein Brief von Vakuum -isoliertem Rohrleitungssystem in der kryogenen Anwendung der Chipindustrie

Die Herstellung und Konstruktion von Vakuum -Isolierrohrleitungssystemen für flüssige Stickstoffvermittlung liegt in der Verantwortung des Lieferanten. Wenn der Lieferant für dieses Projekt nicht über die Bedingungen für die Messung vor Ort verfügt, müssen die Pipeline-Richtungszeichnungen vom Haus bereitgestellt werden. Anschließend entwirft der Lieferant ein VI -Rohrleitungssystem für flüssige Stickstoffszenarien.

Der Lieferant muss das Gesamtdesign des Pipeline -Systems durch erfahrene Designer gemäß den Zeichnungen, Ausrüstungsparametern, Standortbedingungen, Flüssigstickstoffeigenschaften und anderen vom Demander bereitgestellten Faktoren abschließen.

Der Inhalt des Designs umfasst die Art des Systemzubehörs, die Bestimmung des Materials und die Spezifikationen der internen und externen Rohre, das Design des Isolationsschemas, das vorgefertigte Abschnittschema, die Verbindungsform zwischen den Rohrabschnitten, die interne Rohrhalterung , Die Anzahl und Position des Vakuumventils, die Eliminierung von Gasdichtungen, die kryogenen Flüssigkeitsanforderungen der Klemmegeräte usw. Dieses Programm sollte vor der Herstellung vom professionellen Personal des Demanders überprüft werden.

Der Inhalt des stakuumisulierten Rohrleitungssystemdesigns ist hier breit, um Hass -Anwendungen und MBE -Geräte in einigen häufigen Problemen, einem einfachen Chat, zu.

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VI -Rohrleitungen

Der flüssige Stickstoffspeichertank ist normalerweise von Hass -Anwendungen oder MBE -Geräten lang. Während das vakuumisulierte Rohr in das Gebäude in Innenräume eindringt, muss es nach dem Raumlayout im Gebäude und der Lage des Feldrohrs und des Luftkanals vernünftigerweise vermieden werden. Daher transportieren flüssiger Stickstoff in die Ausrüstung, mindestens Hunderte von Meter Rohr.

Da der komprimierte flüssige Stickstoff selbst eine große Menge Gas enthält, die mit dem Transportabstand gekoppelt ist, erzeugt sogar das adiabatische Vakuumrohr eine große Menge Stickstoff im Transportprozess. Wenn Stickstoff nicht entlassen wird oder die Emission zu niedrig ist, um die Anforderungen zu erfüllen, führt dies zu Gasbeständigkeit und führt zu einem schlechten Flüssigkeitsstrom von flüssigem Stickstoff, was zu einer großen Verringerung der Durchflussrate führt.

Wenn die Durchflussrate nicht ausreicht, kann die Temperatur in der flüssigen Stickstoffkammer der Geräte nicht kontrolliert werden, was schließlich zur Beschädigung der Geräte oder der Produktqualität führen kann.

Daher ist es erforderlich, die Menge an flüssigem Stickstoff zu berechnen, die von den Terminalausrüstung (Hass -Anwendung oder MBE -Geräte) verwendet werden. Gleichzeitig werden die Pipeline -Spezifikationen auch nach Länge und Richtung der Pipeline bestimmt.

Ausgehend von flüssigem Stickstoffspeichertank, wenn die Hauptrohrlinie des Vakuum -Isolierrohrs/-schlauchs DN50 (Innendurchmesser φ50 mm) beträgt, beträgt sein Zweig -VI -Rohr/-schlauch DN25 (Innendurchmesser φ25 mm) und der Schlauch zwischen dem Zweigrohr und dem Zweigrohr und dem Schlauch Die terminale Ausrüstung beträgt DN15 (Innendurchmesser φ15 mm). Andere Ausstattung für das VI-Rohrleitungssystem, einschließlich Phasenabscheider, Entgasser, automatischer Gasentlüftung, VI/Kryogener (pneumatischer) Absperrventil, VI-pneumatischer Durchflussregulierungsventil, VI/kryogenes Scheckventil, VI-Filter, Sicherheitsreliefventil, Säubersystem, System, Säubersystem, System, Säubersystem, und Vakuumpumpe usw.

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MBE Spezialphasenabscheider

Jeder MBE Special Normal Druckphasenabscheider hat die folgenden Funktionen:

1. Sensor des Flüssigkeitsspiegels und automatischer Steuerung des Flüssigkeitsspiegels und unverzüglich durch einen elektrischen Steuerfeld angezeigt.

2. Druckreduzierungsfunktion: Der flüssige Einlass des Separators ist mit einem Trennzeichen-Hilfssystem ausgestattet, wodurch ein flüssiger Stickstoffdruck von 3 bis 4 bar im Hauptrohr garantiert wird. Reduzieren Sie beim Betreten des Phasenabscheiders den Druck stetig auf ≤ 1Bar.

3. LIQUID INLET FLUS REGULATION: Ein Auftriebskontrollsystem befindet sich im Phasenabscheider. Seine Funktion besteht darin, die Menge der Flüssigkeitsaufnahme automatisch anzupassen, wenn der Verbrauch des flüssigen Stickstoffs zunimmt oder abnimmt. Dies hat den Vorteil, dass die scharfe Druckschwankung durch den Eintritt einer großen Menge an flüssigem Stickstoff beim Öffnen des Einlass -Pneumatikventils und der Verhinderung von Überdruck verringert wird.

4. Pufferfunktion garantiert das effektive Volumen im Separator den maximalen momentanen Fluss des Geräts.

5. Säubersystem: Luftstrom und Wasserdampf im Trennzeichen vor dem Flüssigstickstoffpassy und die Entladung von flüssigem Stickstoff im Trennzeichen nach dem flüssigen Stickstoffpassy.

6. Überdruck automatische Entlastungsfunktion: Das Gerät führt beim ersten Durchgang durch flüssiges Stickstoff oder unter besonderen Umständen zu einer Erhöhung der flüssigen Stickstoffvergasung, was zu einer sofortigen Überdruck des gesamten Systems führt. Unser Phasenabscheider ist mit Sicherheitsentlastungsventil und Sicherheitsreliefventilgruppe ausgestattet, was die Druckstabilität im Trennzeichen effektiver gewährleisten und verhindern kann, dass die MBE -Geräte durch übermäßigen Druck beschädigt werden.

7. Elektrische Kontrollkasten, Echtzeitanzeige des Flüssigkeitsspiegels und des Druckwerts können den Flüssigkeitsniveau im Trennzeichen und im Flüssigkeitsstickstoff in die Kontrollbeziehung einstellen. Gleichzeitig. Im Notfall, manuelles Bremsen des Gasflüssigkeitsabscheiders in das Flüssigsteuerventil, damit das Personal- und Ausrüstungssicherheit eine Garantie bietet.

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Multi-Core-Entgasser für Hass-Anwendungen

Der Flüssigkeits -Stickstoffspeicher im Freien enthält eine große Menge Stickstoff, da er unter Druck gelagert und transportiert wird. In diesem System ist der Pipeline -Transportabstand länger, es gibt mehr Ellbogen und einen größeren Widerstand, der eine teilweise Vergasung des flüssigen Stickstoffs verursacht. Das Vakuum -isolierte Rohr ist derzeit der beste Weg, um flüssiges Stickstoff zu transportieren, aber Wärmeleckage ist unvermeidbar, was auch zu einer teilweisen Vergasung des flüssigen Stickstoffs führt. Zusammenfassend lässt sich sagen, dass flüssiger Stickstoff eine große Menge Stickstoff enthält, was zur Erzeugung von Gasresistenz führt, was zum Flüssigkeitsfluss von flüssigem Stickstoff nicht glatt ist.

Abgasausrüstung am vakuumisulierten Rohr, wenn kein Abgasgerät oder ein unzureichendes Abgasvolumen vorhanden ist, führt zu Gaswiderstand. Sobald der Gaswiderstand gebildet ist, wird die flüssige Stickstoff -Förderkapazität stark reduziert.

Der ausschließlich von unserem Unternehmen entworfene Multi-Core-Entgasser kann sicherstellen, dass der Stickstoff maximal aus dem Hauptflüssigkeits-Stickstoffrohr entlassen und die Bildung von Gaswiderstand verhindern. Der Multi-Core-Entgasser hat genügend internes Volumen, kann die Rolle des Pufferspeichertanks spielen und die Bedürfnisse des maximalen momentanen Flusses der Lösungsrohrlinie effektiv erfüllen.

Einzigartige patentierte Multi-Kern-Struktur, effizientere Abgaskapazität als unsere anderen Arten von Separatoren.

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Wenn der vorherige Artikel fortgesetzt wird, müssen einige Probleme berücksichtigt werden, die bei der Gestaltung von Lösungen für das Vakuum -isolierte Rohrleitungssystem für kryogene Anwendungen in der ChIP -Industrie in Betracht gezogen werden müssen.

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Zwei Arten von vakuumisulierten Rohrleitungssystemen

Es gibt zwei Arten von vakuumisuliertem Rohrleitungssystem: statisches VI -System und dynamisches Vakuumpumping -System.

Das statische VI -System bedeutet, dass nach jedem Rohr in der Fabrik auf den angegebenen Vakuumgrad auf der Pumpeinheit gesaugt und versiegelt wird. In der Feldinstallation und in Gebrauch muss ein bestimmter Zeitraum nicht wieder auf die Website bewertet werden.

Der Vorteil des statischen VI -Systems sind niedrige Wartungskosten. Sobald das Rohrleitungssystem in Betrieb ist, ist einige Jahre später eine Wartung erforderlich. Dieses Vakuumsystem eignet sich für Systeme, für die keine hohen Kühlanforderungen und offene Orte für die Wartung vor Ort erforderlich sind.

Der Nachteil des statischen VI -Systems besteht darin, dass das Vakuum mit der Zeit abnimmt. Weil alle Materialien die ganze Zeit verfolgen, was durch die physikalischen Eigenschaften des Materials bestimmt wird. Das Material im VI -Rohrmantel kann die durch den Prozess freigesetzte Gasmenge reduzieren, kann jedoch nicht vollständig isoliert werden. Dies führt zum Vakuum der versiegelten Vakuumumgebung und wird immer niedriger sein. Die Vakuumisolierungschlauch wird die Kühlfähigkeit allmählich schwächen.

Das dynamische Vakuumpumpumpensystem bedeutet, dass nach der Herstellung und Bildung des Rohrs das Rohr nach dem Prozess der Leckerkennung immer noch in der Fabrik evakuiert wird, das Vakuum jedoch vor der Entbindung nicht versiegelt wird. Nach Abschluss der Feldinstallation müssen die Vakuum -Zwischenschichten aller Rohre durch Edelstahlschläuche in ein oder mehrere Einheiten angeschlossen werden, und eine kleine dedizierte Vakuumpumpe muss verwendet werden, um die Rohre auf dem Feld zu vakuumieren. Die spezielle Vakuumpumpe verfügt über ein automatisches System, um das Vakuum jederzeit zu überwachen und nach Bedarf ein Vakuum. Das System läuft 24 Stunden am Tag.

Der Nachteil des dynamischen Vakuumpumpensystems besteht darin, dass das Vakuum durch Strom aufrechterhalten werden muss.

Der Vorteil des dynamischen Vakuumpumping -Systems besteht darin, dass der Vakuumgrad sehr stabil ist. Es wird bevorzugt in der Innenumgebung und in der Vakuumleistung für sehr hohe Projekte verwendet.

Unser dynamisches Vakuumpumping -System, die gesamte mobile integrierte Spezialvakuumpumpe, um sicherzustellen, dass die Geräte für das Vakuum, die bequeme und angemessene Layout sorgen, um die Auswirkung des Vakuums und der Qualität des Vakuumzubehörs zu gewährleisten, um die Qualität des Vakuums zu gewährleisten.

Für das MBE -Projekt, da sich die Ausrüstung im sauberen Raum befindet und die Ausrüstung lange dauert. Der größte Teil des vakuumisulierten Rohrleitungssystems befindet sich im geschlossenen Raum auf der Zwischenschicht des sauberen Raums. Es ist unmöglich, die Vakuumwartung des Rohrleitungssystems in Zukunft zu implementieren. Dies wird einen ernsthaften Einfluss auf den langfristigen Betrieb des Systems haben. Infolgedessen setzt das MBE -Projekt fast alle dynamischen Vakuumpumping -Systeme ein.

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Druckentlastungssystem

Das Druckentlastungssystem der Hauptlinie nimmt die Sicherheitsreliefventilgruppe an. Sicherheitsreliefventilgruppe wird als Sicherheitsschutzsystem verwendet, wenn Überdruck, VI -Rohrleitungen nicht im normalen Gebrauch eingestellt werden können

Sicherheitslinderventil ist eine Schlüsselkomponente, um sicherzustellen, dass das Pipeline -System nicht überdruck und sicher ist. Daher ist es für den Pipeline -Betrieb von wesentlicher Bedeutung. Das Sicherheitsventil gemäß der Verordnung muss jedoch jedes Jahr an die Überprüfung gesendet werden. Wenn ein Sicherheitsventil verwendet wird und das andere vorbereitet wird, befindet sich beim Entfernen eines Sicherheitsventils das andere Sicherheitsventil immer noch im Pipeline -System, um den normalen Betrieb der Pipeline sicherzustellen.

Die Gruppe für Sicherheitsreliefventile enthält zwei DN15 -Sicherheitsentlastungsventile, eine zur Verwendung und eine für Standby. Beim normalen Betrieb ist nur ein Sicherheitsentlastungsventil mit dem VI -Rohrleitungssystem verbunden und läuft normal. Die anderen Sicherheitsentlastungsventile werden vom Innenrohr getrennt und können jederzeit ersetzt werden. Die beiden Sicherheitsventile sind angeschlossen und durch den Seitungsventilschaltzustand abgeschnitten.

Die Gruppe für Sicherheitsreliefventile ist jederzeit mit einem Druckmessgerät ausgestattet, um den Druckleitungssystem zu überprüfen.

Die Sicherheitslinderventilgruppe ist mit einem Entladungsventil versehen. Es kann verwendet werden, um die Luft im Rohr beim Spülen abzuleiten, und Stickstoff kann abgebrochen werden, wenn das flüssige Stickstoffsystem läuft.

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HL Kryogene Ausrüstung

HL Kryogene Geräte, die 1992 gegründet wurden, ist eine Marke, die der Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company in China angeschlossen ist. HL Kryogene Geräte sind für das Design und die Herstellung des hochvakuumisulierten kryogenen Rohrleitungssystems und der damit verbundenen Stützausrüstung verpflichtet.

In der heutigen sich schnell verändernden Welt ist die Bereitstellung fortschrittlicher Technologien gleichzeitig die Kosteneinsparungen für Kunden eine herausfordernde Aufgabe. Seit 30 Jahren haben HL Cryogenic Equipment Company in fast allen kryogenen Geräten und Industrie eine tiefere Anwendungsszene, sammel Neue, praktische und effiziente Lösungen machen unsere Kunden auf dem Markt wettbewerbsfähiger.

For more information, please visit the official website www.hlcryo.com, or email to info@cdholy.com .

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Postzeit: Aug-25-2021

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