Gehäuse und Lösungen für Halbleiter und Chips

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Die Flüssigstickstoff-Kühlsysteme sind in der Halbleiter- und Chipindustrie weit verbreitet, einschließlich des Prozesses von,

  • Die Technologie der Molekularstrahlepitaxie (MBE)
  • Der Test des Chips nach dem COB-Paket

Verwandte Produkte

MOLEKULARSTRAHLEPITAXIE

Die Technologie der Molekularstrahlepitaxie (MBE) wurde in den 1950er Jahren entwickelt, um Halbleiter-Dünnschichtmaterialien unter Verwendung der Vakuumverdampfungstechnologie herzustellen.Mit der Entwicklung der Ultrahochvakuumtechnologie wurde die Anwendung der Technologie auf das Gebiet der Halbleiterwissenschaft ausgedehnt.

HL hat die Nachfrage nach MBE-Flüssigstickstoff-Kühlsystemen erkannt, das technische Rückgrat organisiert, um erfolgreich ein spezielles MBE-Flüssigstickstoff-Kühlsystem für die MBE-Technologie und einen kompletten Satz vakuumisolierter Rohrleitungssysteme zu entwickeln, die in vielen Unternehmen, Universitäten und Forschungsinstituten eingesetzt werden .

Zu den allgemeinen Problemen der Halbleiter- und Chipindustrie gehören:

  • Der Druck von Flüssigstickstoff in Terminal (MBE) Equipment.Verhindern Sie eine Drucküberlastung durch Beschädigung von Endgeräten (MBE).
  • Mehrere Einlass- und Auslasssteuerungen für kryogene Flüssigkeiten
  • Die Temperatur von flüssigem Stickstoff in Endgeräte
  • Eine angemessene Menge an kryogenen Gasemissionen
  • (Automatisches) Schalten von Haupt- und Nebenstrecken
  • Druckanpassung (Reduzierung) und Stabilität des VIP
  • Entfernen von möglichen Verunreinigungen und Eisrückständen aus dem Tank
  • Füllzeit der Terminal-Flüssigkeitsausrüstung
  • Pipeline-Vorkühlung
  • Flüssigkeitswiderstand im VIP-System
  • Kontrollieren Sie den Verlust von flüssigem Stickstoff während des diskontinuierlichen Betriebs des Systems

Das vakuumisolierte Rohr (VIP) von HL wird standardmäßig gemäß ASME B31.3 Druckleitungscode gebaut.Engineering-Erfahrung und Fähigkeit zur Qualitätskontrolle, um die Effizienz und Kosteneffizienz der Anlage des Kunden sicherzustellen.

LÖSUNGEN

HL Cryogenic Equipment bietet Kunden das vakuumisolierte Rohrleitungssystem, um die Anforderungen und Bedingungen der Halbleiter- und Chipindustrie zu erfüllen:

1. Qualitätsmanagementsystem: ASME B31.3 Druckleitungscode.

2.Ein spezieller Phasentrenner mit mehreren Ein- und Ausgängen für kryogene Flüssigkeiten mit automatischer Steuerfunktion erfüllt die Anforderungen an Gasemission, recycelten flüssigen Stickstoff und Temperatur von flüssigem Stickstoff.

3. Ein angemessenes und rechtzeitiges Auspuffdesign stellt sicher, dass die Endgeräte immer innerhalb des entworfenen Druckwerts arbeiten.

4.Die Gas-Flüssigkeits-Barriere wird im vertikalen VI-Rohr am Ende der VI-Rohrleitung platziert.Die Gas-Flüssigkeits-Barriere verwendet das Gasdichtungsprinzip, um die Wärme vom Ende der VI-Rohrleitung in die VI-Rohrleitung zu blockieren und den Verlust von flüssigem Stickstoff während des diskontinuierlichen und intermittierenden Betriebs des Systems effektiv zu reduzieren.

5.VI-Rohrleitungen gesteuert durch die vakuumisolierte Ventilserie (VIV): Einschließlich vakuumisoliertem (pneumatischem) Absperrventil, vakuumisoliertem Rückschlagventil, vakuumisoliertem Regelventil usw. Verschiedene VIV-Typen können modular kombiniert werden, um das VIP zu steuern erforderlich.VIV wird mit VIP-Vorfertigung im Hersteller integriert, ohne vor Ort isolierte Behandlung.Die Dichtungseinheit von VIV kann einfach ausgetauscht werden.(HL akzeptiert die von Kunden angegebene kryogene Ventilmarke und stellt dann vakuumisolierte Ventile von HL her. Einige Marken und Modelle von Ventilen können möglicherweise nicht zu vakuumisolierten Ventilen verarbeitet werden.)

6.Sauberkeit, falls zusätzliche Anforderungen an die Sauberkeit der Innenrohroberfläche gestellt werden.Es wird empfohlen, dass Kunden BA- oder EP-Edelstahlrohre als VIP-Innenrohre wählen, um das Verschütten von Edelstahl weiter zu reduzieren.

7.Vakuumisolierter Filter: Reinigen Sie den Tank von möglichen Verunreinigungen und Eisrückständen.

8. Nach ein paar Tagen oder längerer Abschaltung oder Wartung ist es unbedingt erforderlich, die VI-Rohrleitungen und Endgeräte vorzukühlen, bevor kryogene Flüssigkeit eingeführt wird, um Eisschlacke zu vermeiden, nachdem kryogene Flüssigkeit direkt in die VI-Rohrleitungen und Endgeräte gelangt.Die Vorkühlfunktion sollte bei der Konstruktion berücksichtigt werden.Es bietet einen besseren Schutz für Endgeräte und VI-Rohrleitungsunterstützungsgeräte wie Ventile.

9. Geeignet für dynamische und statische vakuumisolierte (flexible) Rohrleitungssysteme.

10. Dynamisch vakuumisoliertes (flexibles) Rohrleitungssystem: Besteht aus flexiblen VI-Schläuchen und/oder VI-Rohren, Überbrückungsschläuchen, vakuumisoliertem Ventilsystem, Phasentrennern und dynamischem Vakuumpumpensystem (einschließlich Vakuumpumpen, Magnetventilen und Vakuummetern usw.). ).Die Länge des einzelnen flexiblen VI-Schlauchs kann an die Anforderungen des Benutzers angepasst werden.

11.Verschiedene Verbindungsarten: Vakuum-Bajonettverbindung (VBC) und Schweißverbindung können ausgewählt werden.Der VBC-Typ benötigt keine isolierte Behandlung vor Ort.