Kurzbeschreibung der Molekularstrahlepitaxie (MBE)
Die Molekularstrahlepitaxie (MBE) wurde in den 1950er Jahren entwickelt, um Halbleiter-Dünnschichtmaterialien mittels Vakuumverdampfung herzustellen. Mit der Entwicklung der Ultrahochvakuumtechnologie wurde die Anwendung dieser Technologie auf die Halbleiterforschung ausgeweitet.
Die Motivation der Halbleitermaterialforschung liegt in der Nachfrage nach neuen Bauelementen, die die Systemleistung verbessern können. Neue Materialtechnologien wiederum können neue Geräte und neue Technologien hervorbringen. Die Molekularstrahlepitaxie (MBE) ist eine Hochvakuumtechnologie für das Wachstum epitaktischer Schichten (meist Halbleiter). Dabei wird der Wärmestrahl von Quellatomen oder -molekülen genutzt, der auf ein Einkristallsubstrat trifft. Die Ultrahochvakuumeigenschaften des Prozesses ermöglichen die In-situ-Metallisierung und das Wachstum von Isoliermaterialien auf frisch gewachsenen Halbleiteroberflächen, wodurch kontaminationsfreie Grenzflächen entstehen.
MBE-Technologie
Die Molekularstrahlepitaxie wurde im Hochvakuum oder Ultrahochvakuum (1 x 10-8Pa) Umgebung. Der wichtigste Aspekt der Molekularstrahlepitaxie ist ihre niedrige Abscheidungsrate, die in der Regel ein epitaktisches Filmwachstum von weniger als 3000 nm pro Stunde ermöglicht. Eine so niedrige Abscheidungsrate erfordert ein ausreichend hohes Vakuum, um den gleichen Reinheitsgrad wie bei anderen Abscheidungsverfahren zu erreichen.
Um das oben beschriebene Ultrahochvakuum zu erreichen, verfügt die MBE-Anlage (Knudsen-Zelle) über eine Kühlschicht. Die Ultrahochvakuumumgebung der Wachstumskammer muss mithilfe eines Flüssigstickstoff-Zirkulationssystems aufrechterhalten werden. Flüssigstickstoff kühlt die Innentemperatur der Anlage auf 77 Kelvin (−196 °C) ab. Die niedrige Umgebungstemperatur kann den Gehalt an Verunreinigungen im Vakuum weiter reduzieren und bessere Bedingungen für die Abscheidung dünner Schichten schaffen. Daher ist für die MBE-Anlage ein spezielles Flüssigstickstoff-Kühlzirkulationssystem erforderlich, um eine kontinuierliche und gleichmäßige Versorgung mit -196 °C heißem Flüssigstickstoff zu gewährleisten.
Flüssigstickstoff-Kühlkreislaufsystem
Das Vakuum-Kühlkreislaufsystem mit flüssigem Stickstoff umfasst im Wesentlichen:
● Kryotank
● Haupt- und Abzweigrohr mit Vakuummantel / Vakuumschlauch
● MBE-Spezialphasentrenner und vakuumummanteltes Abgasrohr
● verschiedene vakuumummantelte Ventile
● Gas-Flüssigkeits-Barriere
● Vakuumummantelter Filter
● dynamisches Vakuumpumpensystem
● Vorkühl- und Spül-Nachwärmsystem
HL Cryogenic Equipment Company hat die Nachfrage nach MBE-Flüssigstickstoff-Kühlsystemen erkannt und das technische Rückgrat für die erfolgreiche Entwicklung eines speziellen MBE-Flüssigstickstoff-Kühlsystems für die MBE-Technologie und eines kompletten Satzes von Vakuumisolatoren geschaffen.edRohrleitungssystem, das in vielen Unternehmen, Universitäten und Forschungsinstituten eingesetzt wird.
HL Kryotechnik
HL Cryogenic Equipment wurde 1992 gegründet und ist eine Marke der Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company in China. HL Cryogenic Equipment hat sich auf die Entwicklung und Herstellung von hochvakuumisolierten kryogenen Rohrleitungssystemen und der dazugehörigen Unterstützungsausrüstung spezialisiert.
Weitere Informationen finden Sie auf der offiziellen Websitewww.hlcryo.comoder per E-Mail aninfo@cdholy.com.
Beitragszeit: 06. Mai 2021
