Nachrichten - Das in den letzten Jahren abgeschlossene Chip MBE -Projekt

Technologie

Die Molekülstrahl-Epitaxie oder MBE ist eine neue Technik zum Anbau hochwertiger dünner Filme von Kristallen auf Kristallsubstraten. Unter ultra hohen Vakuumbedingungen ist durch den Heizherd mit allen Arten von erforderlichen Komponenten ausgestattet und erzeugt Dampf durch Löcher, die nach kollimierter Strahlatomus- oder Molekularstrahl gebildet werden Das Substrat scannt gleichzeitig, es kann die Moleküle oder Atome in Kristallausrichtungsschichten dazu bringen, auf einem "Wachstum" eines Substrats einen dünnen Film zu bilden.

Für den normalen Betrieb der MBE-Geräte sind hohe Reinheit, niedriger Druck und ultra-verklemster flüssiger Stickstoff kontinuierlich und stabil in die Kühlkammer des Geräts transportiert. Im Allgemeinen hat ein Tank, der flüssiges Stickstoff liefert, einen Ausgangsdruck zwischen 0,3 MPa und 0,8 MPa. Stickstoff bei -196 ℃ ist während des Rohrlinientransports leicht zu Stickstoff verdampft. Sobald der flüssige Stickstoff mit einem Gas-Flüssigkeits-Verhältnis von etwa 1: 700 in der Rohrleitung vergeuert wird, wird eine große Menge an Flüssigstickstoffflussraum einnimmt und den normalen Fluss am Ende der flüssigen Stickstoffrohrlinie verringert. Darüber hinaus gibt es im flüssigen Stickstoffspeichertank wahrscheinlich nicht gereinigt. In der flüssigen Stickstoffpipeline führt die Existenz von Nassluft auch zur Erzeugung der Eisschlacke. Wenn diese Verunreinigungen in die Ausrüstung eingeleitet werden, wird die Ausrüstung unvorhersehbare Schäden verursachen.

Daher wird der flüssige Stickstoff im Außenlagertank mit hoher Effizienz, Stabilität und Sauber ein qualifiziertes Produkt.

Passende MBE -Ausrüstung

Seit 2005 optimiert und verbessert HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) dieses System und die Zusammenarbeit mit internationalen MBE -Geräteherstellern. MBE -Gerätehersteller, einschließlich DCA, Reber, haben kooperative Beziehungen zu unserem Unternehmen. MBE -Gerätehersteller, einschließlich DCA und Reber, haben in einer großen Anzahl von Projekten zusammengearbeitet.

Riber SA ist ein weltweit führender Anbieter von Produkten (Molekularstrahl Epitaxy) und verwandte Dienstleistungen für die zusammengesetzte Halbleiterforschung und industrielle Anwendungen. Das Riber MBE -Gerät kann sehr dünne Materialschichten auf dem Substrat mit sehr hohen Kontrollen ablegen. Die Vakuumausrüstung von HL Kryogenen Geräten (HL Cryo) ist mit Riber SA ausgestattet. Die größte Ausrüstung ist Riber 6000 und das kleinste ist kompakt 21. Es ist in gutem Zustand und wurde von den Kunden erkannt.

DCA ist das weltweit führende Oxid MBE. Seit 1993 wurde eine systematische Entwicklung von Oxidationstechniken, antioxidativem Substraterwärmung und antioxidative Quellen durchgeführt. Aus diesem Grund haben viele führende Laboratorien die DCA -Oxid -Technologie ausgewählt. Die weltweit zusammengesetzten Halbleiter -MBE -Systeme werden weltweit eingesetzt. Das VJ Flüssigstickstoff -Zirkulationssystem von HL Cryogenic Equipment (HL Cryo) und die MBE -Ausrüstung mehrerer DCA -Modelle verfügen in vielen Projekten, wie z. B. das Modell P600, R450, SGC800 usw.