Neuigkeiten - Das Chip MBE-Projekt wurde in den letzten Jahren abgeschlossen

Technologie

Molekularstrahlepitaxie (MBE) ist eine neue Technik zum Züchten hochwertiger dünner Kristallschichten auf Kristallsubstraten. Unter Ultrahochvakuumbedingungen wird Dampf durch einen mit allen erforderlichen Komponenten ausgestatteten Heizofen erzeugt. Der Atom- oder Molekularstrahl wird durch die nach dem Kollimieren des Strahls gebildeten Löcher direkt auf das Einkristallsubstrat auf die entsprechende Temperatur injiziert. Gleichzeitig wird der Molekularstrahl kontrolliert und das Substrat abgetastet. Dadurch können Moleküle oder Atome in den Kristallausrichtungsschichten zu dünnen Schichten auf dem Substrat „wachsen“.

Für den normalen Betrieb von MBE-Anlagen ist es erforderlich, hochreinen, unter niedrigem Druck stehenden und ultrareinen Flüssigstickstoff kontinuierlich und stabil in die Kühlkammer der Anlage zu transportieren. Ein Tank, der Flüssigstickstoff bereitstellt, hat in der Regel einen Ausgangsdruck zwischen 0,3 MPa und 0,8 MPa. Flüssigstickstoff verdampft bei -196 °C während des Transports durch die Pipeline leicht zu Stickstoff. Sobald der Flüssigstickstoff mit einem Gas-Flüssigkeits-Verhältnis von etwa 1:700 in der Pipeline vergast wird, nimmt er einen großen Teil des Strömungsraums für Flüssigstickstoff ein und reduziert den normalen Durchfluss am Ende der Flüssigstickstoff-Pipeline. Darüber hinaus können sich im Flüssigstickstoff-Lagertank nicht gereinigte Rückstände befinden. In der Flüssigstickstoff-Pipeline führt feuchte Luft zudem zur Bildung von Eisschlacke. Gelangen diese Verunreinigungen in die Anlage, verursacht dies unvorhersehbare Schäden an der Anlage.

Daher wird der flüssige Stickstoff im Außenlagertank mit hoher Effizienz, Stabilität und Sauberkeit zur MBE-Ausrüstung in der staubfreien Werkstatt transportiert. Bei niedrigem Druck, ohne Stickstoff und Verunreinigungen und rund um die Uhr ohne Unterbrechung ist ein solches Transportkontrollsystem ein qualifiziertes Produkt.

Passende MBE-Ausrüstung

Seit 2005 optimiert und verbessert HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) dieses System und arbeitet mit internationalen Herstellern von MBE-Anlagen zusammen. MBE-Anlagenhersteller wie DCA und REBER arbeiten eng mit unserem Unternehmen zusammen. MBE-Anlagenhersteller wie DCA und REBER haben bereits bei zahlreichen Projekten mit uns zusammengearbeitet.

Riber SA ist ein weltweit führender Anbieter von Molekularstrahlepitaxie (MBE)-Produkten und zugehörigen Dienstleistungen für die Verbindungshalbleiterforschung und industrielle Anwendungen. Das Riber-MBE-Gerät kann mit höchster Präzision sehr dünne Materialschichten auf Substraten abscheiden. Die Vakuumanlage von HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ist mit Riber SA ausgestattet. Das größte Gerät ist der Riber 6000, das kleinste der Compact 21. Es befindet sich in gutem Zustand und wird von Kunden geschätzt.

DCA ist die weltweit führende Oxid-MBE. Seit 1993 werden systematisch Oxidationstechniken, die antioxidative Substraterhitzung und antioxidative Quellen entwickelt. Aus diesem Grund setzen viele führende Labore auf die DCA-Oxidtechnologie. Verbundhalbleiter-MBE-Systeme werden weltweit eingesetzt. Das VJ-Flüssigstickstoff-Zirkulationssystem von HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) und die MBE-Ausrüstung verschiedener DCA-Modelle verfügen über die entsprechende Erfahrung aus zahlreichen Projekten, wie beispielsweise den Modellen P600, R450, SGC800 usw.