Nachrichten – Das Chip-MBE-Projekt wurde in den letzten Jahren abgeschlossen

Technologie

Die Molekularstrahlepitaxie (MBE) ist eine neue Technik zum Züchten hochwertiger dünner Kristallfilme auf Kristallsubstraten. Unter Ultrahochvakuumbedingungen wird der Heizofen mit allen erforderlichen Komponenten ausgestattet und Dampf erzeugt. Durch die nach der Kollimierung des Atom- oder Molekularstrahls gebildeten Löcher erfolgt die direkte Injektion auf die entsprechende Temperatur des Einkristallsubstrats und die Steuerung des Molekularstrahls Während das Substrat gleichzeitig gescannt wird, können die Moleküle oder Atome in den Kristallausrichtungsschichten einen dünnen Film auf dem Substrat bilden.

Für den normalen Betrieb von MBE-Geräten ist es erforderlich, hochreinen, niederdruckigen und ultrareinen flüssigen Stickstoff kontinuierlich und stabil zur Kühlkammer des Geräts zu transportieren. Im Allgemeinen hat ein Tank, der flüssigen Stickstoff liefert, einen Ausgangsdruck zwischen 0,3 MPa und 0,8 MPa. Flüssiger Stickstoff bei -196 °C verdampft während des Pipelinetransports leicht zu Stickstoff. Sobald der flüssige Stickstoff mit einem Gas-Flüssigkeits-Verhältnis von etwa 1:700 in der Rohrleitung vergast wird, nimmt er einen großen Teil des Flüssigstickstoff-Strömungsraums ein und verringert den normalen Durchfluss am Ende der Flüssigstickstoff-Pipeline. Darüber hinaus ist es wahrscheinlich, dass sich im Flüssigstickstoff-Lagertank Schmutz befindet, der nicht gereinigt wurde. In der Pipeline für flüssigen Stickstoff führt das Vorhandensein feuchter Luft auch zur Bildung von Eisschlacke. Wenn diese Verunreinigungen in das Gerät gelangen, führt dies zu unvorhersehbaren Schäden am Gerät.

Daher wird der flüssige Stickstoff im Außenlagertank mit hoher Effizienz, Stabilität und Sauberkeit zu den MBE-Geräten in der staubfreien Werkstatt transportiert, und der niedrige Druck, kein Stickstoff, keine Verunreinigungen, 24 Stunden ununterbrochen, ist ein solches Transportkontrollsystem ein qualifiziertes Produkt.

Passende MBE-Ausstattung

Seit 2005 optimiert und verbessert HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) dieses System und kooperiert mit internationalen MBE-Geräteherstellern. Hersteller von MBE-Geräten, darunter DCA und REBER, pflegen Kooperationsbeziehungen mit unserem Unternehmen. MBE-Ausrüstungshersteller, darunter DCA und REBER, haben in einer Vielzahl von Projekten zusammengearbeitet.

Riber SA ist ein weltweit führender Anbieter von Produkten für die Molekularstrahlepitaxie (MBE) und damit verbundenen Dienstleistungen für die Verbindungshalbleiterforschung und industrielle Anwendungen. Das Riber MBE-Gerät kann mit sehr hohen Kontrollen sehr dünne Materialschichten auf dem Substrat abscheiden. Die Vakuumausrüstung von HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ist mit Riber SA ausgestattet. Die größte Ausrüstung ist Riber 6000 und die kleinste ist Compact 21. Sie ist in gutem Zustand und wurde von Kunden anerkannt.

DCA ist der weltweit führende Oxid-MBE. Seit 1993 wird eine systematische Entwicklung von Oxidationstechniken, antioxidativer Substraterhitzung und antioxidativen Quellen durchgeführt. Aus diesem Grund haben sich viele führende Labore für die DCA-Oxid-Technologie entschieden. Verbundhalbleiter-MBE-Systeme werden weltweit eingesetzt. Das VJ-Flüssigstickstoff-Umwälzsystem von HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) und die MBE-Ausrüstung mehrerer DCA-Modelle verfügen über die entsprechende Erfahrung in vielen Projekten, wie z. B. dem Modell P600, R450, SGC800 usw.