Die flüssigen Stickstoffkühlsysteme werden in der Halbleiter- und Chipindustrie häufig verwendet, einschließlich des Prozesses von,
- Die Technologie der molekularen Strahlpitaxie (MBE)
- Der Chip -Test nach COB -Paket
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Molekularstrahlpitaxie
Die Technologie der Molekularstrahl -Epitaxie (MBE) wurde in den 1950er Jahren entwickelt, um Halbleiter -Dünnfilmmaterialien mithilfe der Vakuumverdampfungstechnologie herzustellen. Mit der Entwicklung der ultrahohen Vakuumtechnologie wurde die Anwendung der Technologie auf den Bereich der Halbleiterwissenschaft ausgedehnt.
HL hat die Nachfrage eines MBE -Flüssigstickstoffkühlsystems, des organisierten technischen Rückgrates zur erfolgreichen Entwicklung eines speziellen MBE -Flüssigstickstoff -Cooing -Systems für die MBE -Technologie und einen vollständigen Satz von Vakuum -Isolierleitungssystemen festgestellt, das in vielen Unternehmen, Universitäten und Forschungsinstituten verwendet wurde .
Zu den häufigen Problemen der Halbleiter- und Chipindustrie gehören,
- Der Druck des flüssigen Stickstoffs in terminale (MBE) -Anäure. Verhindern Sie, dass Drucküberlastungen die Klemmenausrüstung (MBE) beschädigen.
- Mehrere kryogene Flüssigeinlass- und Auslasskontrollen
- Die Temperatur des flüssigen Stickstoffs in die terminalen Geräte
- Eine angemessene Menge an kryogenen Gasemissionen
- (Automatisch) Wechsel von Haupt- und Zweiglinien
- Druckeinstellung (Reduzierung) und Stabilität von VIP
- Reinigen Sie die möglichen Verunreinigungen und Eisrückstände aus dem Tank
- Füllzeit der terminalen Flüssigkeitsausrüstung
- Pipeline Vorkühlung
- Flüssigkeitswiderstand im VIP -System
- Kontrollverlust des flüssigen Stickstoffs während des diskontinuierlichen Dienstes des Systems
Das Vakuum -Isolumrohr (VIP) von HL wurde als Standard für den ASME B31.3 -Druckrohrcode gebaut. Ingenieurerfahrung und Qualitätskontrollfähigkeit, um die Effizienz und Kosteneffizienz der Kundenanlage zu gewährleisten.
Lösungen
HL Kryogene Geräte bieten Kunden das vakuumisulierte Rohrleitungssystem, um die Anforderungen und Bedingungen der Halbleiter- und Chipindustrie zu erfüllen:
1. Quality Management System: ASME B31.3 Druckrohrleitungscode.
2. Ein spezielles Phasenabscheider mit mehreren kryogenen Flüssigeinlass und Auslass mit automatischer Kontrollfunktion erfüllt die Anforderung von Gasemission, recyceltem flüssigem Stickstoff und Temperatur des flüssigen Stickstoffs.
3. Die zeitnahe Abgasdesign sorgt dafür, dass Terminalgeräte immer innerhalb des entworfenen Druckwerts arbeiten.
4. Die Gas-Flüssigkeits-Barriere wird in das vertikale VI-Rohr am Ende der VI-Pipeline gelegt. Gas-Flüssigkeitsbarriere verwendet das Gasdicht-Prinzip, um die Wärme vom Ende der VI-Rohrleitung in die VI-Rohrleitungen zu blockieren und den Verlust von flüssigem Stickstoff während der diskontinuierlichen und intermittierenden Dienste des Systems effektiv zu verringern.
5. VI-Rohrleitungen, die durch die VIV-Reihe (VIV) VIV (VAV) gesteuert werden erforderlich. VIV ist ohne isolierte Behandlung vor Ort in die VIP-Präfabrikation beim Hersteller integriert. Die Versiegelungseinheit von VIV kann leicht ersetzt werden. (HL akzeptiert die von den Kunden bezeichnete Kryogen -Ventil -Marke und macht dann durch HL vakuumisulierte Ventile. Einige Marken und Modelle von Ventilen können möglicherweise nicht zu vakuumisulierten Ventilen verarbeitet werden.)
6. CLEANSELESS, wenn zusätzliche Anforderungen an die Sauberkeit der Röhrchenoberfläche vorliegen. Es wird empfohlen, dass Kunden BA- oder EP -Rohre aus Edelstahl als VIP -Innenrohre wählen, um die Verschütten von Edelstahl weiter zu reduzieren.
7. Vakuum -Isolierfilter: Entfernen Sie die möglichen Verunreinigungen und Eisrückstände aus dem Tank.
8. Nach einigen Tagen oder längeren Abschalten oder Wartung ist es sehr erforderlich, die VI -Rohrleitungen und die terminalen Geräte vor dem Betreten der kryogenen Flüssigkeit vorzusagen, um die Eisschlacke zu vermeiden, nachdem die kryogene Flüssigkeit direkt in die VI -Rohrleitungen und die Klemmenausrüstung gelangt. Die Vorkugelfunktion sollte im Design berücksichtigt werden. Es bietet einen besseren Schutz für terminale Geräte und VI -Rohrleitungsunterstützungsgeräte wie Ventile.
9.
10.Dynamisches Vakuum -Isolum (flexibel) Rohrleitungssystem: bestehen aus VI -flexiblen Schläuchen und/oder VI -Rohr, Pulloverschläuchen, Vakuum -isoliertem Ventilsystem, Phasenabscheider und dynamischem Vakuumpumpensystem (einschließlich Vakuumpumpen, Magnetventile und Vakuummesser usw. usw. usw. usw. ). Die Länge des einzelnen VI -flexiblen Schlauchs kann gemäß den Anforderungen des Benutzers angepasst werden.
11. Der VBC-Typ benötigt keine isolierte Behandlung vor Ort.
