Die Kühlsysteme mit flüssigem Stickstoff werden häufig in der Halbleiter- und Chipindustrie eingesetzt, einschließlich der Prozesse von,
- Die Technologie der Molekularstrahlepitaxie (MBE)
- Der Test des Chips nach dem COB-Paket
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MOLEKULARSTRAHL-EPITAXIE
Die Technologie der Molekularstrahlepitaxie (MBE) wurde in den 1950er Jahren entwickelt, um Halbleiter-Dünnschichtmaterialien mithilfe der Vakuumverdampfungstechnologie herzustellen. Mit der Entwicklung der Ultrahochvakuumtechnologie wurde die Anwendung der Technologie auf den Bereich der Halbleiterwissenschaft ausgeweitet.
HL hat den Bedarf an MBE-Flüssigstickstoff-Kühlsystemen erkannt und das technische Rückgrat organisiert, um erfolgreich ein spezielles MBE-Flüssigstickstoff-Kühlsystem für die MBE-Technologie und einen kompletten Satz vakuumisolierter Rohrleitungssysteme zu entwickeln, die in vielen Unternehmen, Universitäten und Forschungsinstituten eingesetzt werden .
Zu den häufigsten Problemen der Halbleiter- und Chipindustrie gehören:
- Der Druck von flüssigem Stickstoff in Terminalausrüstung (MBE). Verhindern Sie, dass eine Drucküberlastung die Terminalausrüstung (MBE) beschädigt.
- Mehrere Einlass- und Auslasssteuerungen für kryogene Flüssigkeiten
- Die Temperatur von flüssigem Stickstoff in Endgeräten
- Eine angemessene Menge an kryogenen Gasemissionen
- (Automatische) Umschaltung von Haupt- und Nebenleitungen
- Druckanpassung (Reduzierung) und Stabilität von VIP
- Entfernen möglicher Verunreinigungen und Eisrückstände aus dem Tank
- Füllzeit der Terminal-Flüssigkeitsausrüstung
- Pipeline-Vorkühlung
- Flüssigkeitsbeständigkeit im VIP-System
- Kontrollverlust von flüssigem Stickstoff während des diskontinuierlichen Betriebs des Systems
Das vakuumisolierte Rohr (VIP) von HL ist standardmäßig nach ASME B31.3 Pressure Piping Code gebaut. Ingenieurserfahrung und Fähigkeit zur Qualitätskontrolle, um die Effizienz und Kosteneffizienz der Anlage des Kunden sicherzustellen.
LÖSUNGEN
HL Cryogenic Equipment bietet seinen Kunden das vakuumisolierte Rohrleitungssystem, um den Anforderungen und Bedingungen der Halbleiter- und Chipindustrie gerecht zu werden:
1.Qualitätsmanagementsystem: ASME B31.3 Druckrohrleitungscode.
2. Ein spezieller Phasentrenner mit mehreren Ein- und Ausgängen für kryogene Flüssigkeiten mit automatischer Steuerfunktion erfüllt die Anforderungen an Gasemission, recycelten flüssigen Stickstoff und die Temperatur von flüssigem Stickstoff.
3. Durch eine angemessene und rechtzeitige Abgaskonstruktion wird sichergestellt, dass die Endgeräte immer innerhalb des vorgesehenen Druckwerts arbeiten.
4. Die Gas-Flüssigkeits-Barriere wird im vertikalen VI-Rohr am Ende der VI-Rohrleitung platziert. Die Gas-Flüssigkeits-Barriere nutzt das Gasdichtungsprinzip, um die Wärme vom Ende der VI-Rohrleitung in die VI-Rohrleitung zu blockieren und den Verlust von flüssigem Stickstoff bei diskontinuierlichem und intermittierendem Betrieb des Systems wirksam zu reduzieren.
5.VI-Rohrleitungen gesteuert durch die Serie Vakuumisoliertes Ventil (VIV): Einschließlich vakuumisoliertes (pneumatisches) Absperrventil, vakuumisoliertes Rückschlagventil, vakuumisoliertes Regelventil usw. Verschiedene VIV-Typen können modular kombiniert werden, um das VIP zu steuern erforderlich. VIV ist in die VIP-Vorfertigung im Hersteller integriert, ohne Vor-Ort-Isolierbehandlung. Die Dichtungseinheit von VIV kann einfach ausgetauscht werden. (HL akzeptiert die vom Kunden angegebene kryogene Ventilmarke und stellt dann vakuumisolierte Ventile von HL her. Einige Ventilmarken und -modelle können möglicherweise nicht zu vakuumisolierten Ventilen verarbeitet werden.)
6. Sauberkeit, wenn zusätzliche Anforderungen an die Sauberkeit der Innenrohroberfläche bestehen. Es wird empfohlen, dass Kunden BA- oder EP-Edelstahlrohre als VIP-Innenrohre wählen, um das Verschütten von Edelstahl weiter zu reduzieren.
7.Vakuumisolierter Filter: Entfernen Sie mögliche Verunreinigungen und Eisrückstände aus dem Tank.
8. Nach ein paar Tagen oder längerer Stilllegung oder Wartung ist es unbedingt erforderlich, die VI-Rohrleitungen und Endgeräte vorzukühlen, bevor kryogene Flüssigkeit eindringt, um Eisschlacke zu vermeiden, nachdem kryogene Flüssigkeit direkt in die VI-Rohrleitungen und Endgeräte gelangt. Die Vorkühlfunktion sollte bei der Konstruktion berücksichtigt werden. Es bietet einen besseren Schutz für Endgeräte und VI-Rohrleitungsunterstützungsgeräte wie Ventile.
9. Geeignet für dynamische und statische vakuumisolierte (flexible) Rohrleitungssysteme.
10.Dynamisches vakuumisoliertes (flexibles) Rohrleitungssystem: Besteht aus flexiblen VI-Schläuchen und/oder VI-Rohren, Überbrückungsschläuchen, einem vakuumisolierten Ventilsystem, Phasentrennern und einem dynamischen Vakuumpumpensystem (einschließlich Vakuumpumpen, Magnetventilen und Vakuummessgeräten usw.). ). Die Länge eines einzelnen flexiblen VI-Schlauchs kann an die Anforderungen des Benutzers angepasst werden.
11. Verschiedene Verbindungstypen: Vakuum-Bajonett-Verbindungstyp (VBC) und Schweißverbindung können ausgewählt werden. Für den VBC-Typ ist keine Isolierung vor Ort erforderlich.
