Die Flüssigstickstoff-Kühlsysteme werden in der Halbleiter- und Chipindustrie häufig verwendet, einschließlich des Prozesses von,
- Die Technologie der Molekularstrahlepitaxie (MBE)
- Der Chiptest nach dem COB-Paket
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MOLEKULARE STRAHLEPITAXY
Die Molekularstrahlepitaxie (MBE) wurde in den 1950er Jahren entwickelt, um Halbleiter-Dünnschichtmaterialien mittels Vakuumverdampfung herzustellen. Mit der Entwicklung der Ultrahochvakuumtechnologie wurde die Anwendung dieser Technologie auf die Halbleiterforschung ausgeweitet.
HL hat die Nachfrage nach MBE-Flüssigstickstoff-Kühlsystemen erkannt und das technische Rückgrat für die erfolgreiche Entwicklung eines speziellen MBE-Flüssigstickstoff-Kühlsystems für die MBE-Technologie sowie eines kompletten Satzes vakuumisolierter Rohrleitungssysteme aufgebaut, die in vielen Unternehmen, Universitäten und Forschungsinstituten eingesetzt werden.
Zu den häufigsten Problemen der Halbleiter- und Chipindustrie gehören:
- Der Druck von flüssigem Stickstoff in der Terminalausrüstung (MBE). Verhindern Sie, dass eine Drucküberlastung die Terminalausrüstung (MBE) beschädigt.
- Mehrere Ein- und Auslasssteuerungen für kryogene Flüssigkeiten
- Die Temperatur von flüssigem Stickstoff in Endgeräten
- Eine angemessene Menge an kryogenen Gasemissionen
- (Automatisches) Schalten von Haupt- und Nebenstrecken
- Druckeinstellung (Reduzierung) und Stabilität des VIP
- Entfernen möglicher Verunreinigungen und Eisrückstände aus dem Tank
- Füllzeit der Flüssigkeitsanlage des Terminals
- Pipeline-Vorkühlung
- Flüssigkeitsbeständigkeit im VIP-System
- Kontrollieren Sie den Verlust von flüssigem Stickstoff während des diskontinuierlichen Betriebs des Systems
Das vakuumisolierte Rohr (VIP) von HL wird standardmäßig nach dem ASME B31.3-Druckrohrleitungscode gefertigt. Ingenieurerfahrung und Qualitätskontrolle gewährleisten die Effizienz und Wirtschaftlichkeit der Kundenanlage.
LÖSUNGEN
HL Cryogenic Equipment bietet seinen Kunden das vakuumisolierte Rohrleitungssystem, um die Anforderungen und Bedingungen der Halbleiter- und Chipindustrie zu erfüllen:
1. Qualitätsmanagementsystem: ASME B31.3 Druckrohrleitungscode.
2. Ein spezieller Phasentrenner mit mehreren Ein- und Ausgängen für kryogene Flüssigkeiten und automatischer Steuerfunktion erfüllt die Anforderungen hinsichtlich Gasemission, recyceltem flüssigem Stickstoff und Temperatur des flüssigen Stickstoffs.
3. Eine angemessene und rechtzeitige Abgaskonstruktion stellt sicher, dass die Endgeräte immer innerhalb des vorgesehenen Druckwerts arbeiten.
4. Die Gas-Flüssigkeits-Barriere wird im vertikalen VI-Rohr am Ende der VI-Rohrleitung platziert. Die Gas-Flüssigkeits-Barriere nutzt das Gasdichtungsprinzip, um die Wärme vom Ende der VI-Rohrleitung in die VI-Rohrleitung zu blockieren und den Verlust von flüssigem Stickstoff bei diskontinuierlichem und intermittierendem Betrieb des Systems effektiv zu reduzieren.
5. VI-Rohrleitungen, gesteuert durch die Serie der vakuumisolierten Ventile (VIV): Einschließlich vakuumisoliertem (pneumatischem) Absperrventil, vakuumisoliertem Rückschlagventil, vakuumisoliertem Regelventil usw. Verschiedene VIV-Typen lassen sich modular kombinieren, um das VIP nach Bedarf zu steuern. VIV wird im Herstellerwerk in die VIP-Vorfertigung integriert, ohne dass eine Isolierung vor Ort erforderlich ist. Die Dichtungseinheit des VIV lässt sich leicht austauschen. (HL akzeptiert die vom Kunden angegebene Marke kryogener Ventile und fertigt anschließend vakuumisolierte Ventile selbst. Einige Ventilmarken und -modelle können möglicherweise nicht als vakuumisolierte Ventile hergestellt werden.)
6. Sauberkeit, falls zusätzliche Anforderungen an die Sauberkeit der Innenrohroberfläche bestehen. Es wird empfohlen, BA- oder EP-Edelstahlrohre als VIP-Innenrohre zu wählen, um das Austreten von Edelstahl weiter zu reduzieren.
7. Vakuumisolierter Filter: Entfernt mögliche Verunreinigungen und Eisrückstände aus dem Tank.
8. Nach mehrtägiger oder längerer Stilllegung oder Wartung ist es unbedingt erforderlich, die VI-Rohrleitungen und die Endgeräte vorzukühlen, bevor kryogene Flüssigkeit eingeleitet wird, um Eisschlackebildung nach dem direkten Eindringen der kryogenen Flüssigkeit in die VI-Rohrleitungen und die Endgeräte zu vermeiden. Die Vorkühlfunktion sollte bei der Konstruktion berücksichtigt werden. Sie bietet besseren Schutz für Endgeräte und VI-Rohrleitungs-Unterstützungsgeräte wie Ventile.
9. Geeignet für dynamische und statische vakuumisolierte (flexible) Rohrleitungssysteme.
10. Dynamisches vakuumisoliertes (flexibles) Rohrleitungssystem: Bestehend aus VI-Flexschläuchen und/oder VI-Rohren, Überbrückungsschläuchen, vakuumisoliertem Ventilsystem, Phasentrennern und einem dynamischen Vakuumpumpensystem (einschließlich Vakuumpumpen, Magnetventilen, Vakuummetern usw.). Die Länge einzelner VI-Flexschläuche kann an die Anforderungen des Benutzers angepasst werden.
11. Verschiedene Anschlussarten: Vakuum-Bajonett-Anschluss (VBC) und Schweißanschluss stehen zur Auswahl. Der VBC-Typ benötigt keine Isolierung vor Ort.
