Die Halbleiterindustrie wächst ungebremst, und mit ihrem Wachstum steigen auch die Anforderungen an kryogene Verteilungssysteme – insbesondere im Bereich flüssiger Stickstoff. Ob zur Kühlung von Waferprozessoren, zum Betrieb von Lithografiemaschinen oder für anspruchsvolle Testverfahren: Diese Systeme müssen einwandfrei funktionieren. Wir bei HL Cryogenics konzentrieren uns auf die Entwicklung robuster, zuverlässiger Vakuumisolierungslösungen, die für Stabilität und Effizienz sorgen und dabei nahezu keine Wärmeverluste oder Vibrationen verursachen. Unser Produktportfolio –Vakuumisoliertes Rohr, Flexibler Schlauch, Dynamisches Vakuumpumpensystem, Isoliertes Ventil, UndPhasentrenner—bildet im Grunde das Rückgrat der kryogenen Rohrleitungen für alles von Chipfabriken und Forschungslaboren bis hin zu Luft- und Raumfahrt, Krankenhäusern und LNG-Terminals.
In Halbleiterfabriken läuft flüssiger Stickstoff (LN₂) ununterbrochen. Er hält die Temperaturen für kritische Anlagen wie Fotolithografiesysteme, Kryopumpen, Plasmakammern und Schocktester konstant. Schon geringfügige Störungen in der Kältemittelversorgung können die Ausbeute, die Konsistenz oder die Lebensdauer teurer Geräte beeinträchtigen. Genau hier setzt unsere Technologie an.Vakuumisoliertes RohrUnsere Technologie: Mehrschichtige Isolierung, Hochvakuum und robuste Träger minimieren Wärmeverluste. Dadurch bleiben die internen Bedingungen in den Leitungen auch bei Bedarfsspitzen konstant, und die Verdampfungsraten sind deutlich niedriger als bei herkömmlichen, schaumisolierten Leitungen. Dank präziser Vakuumkontrolle und sorgfältigem Wärmemanagement liefern unsere Leitungen flüssigen Stickstoff genau dann und dort, wo er benötigt wird – ohne Überraschungen.
Manchmal muss das System flexibel sein – beispielsweise beim Anschließen von Werkzeugen, in vibrationsempfindlichen Bereichen oder an Stellen, an denen sich Geräte bewegen. Genau dafür ist unser System ausgelegt.Vakuumisolierte flexible Schläuche„e“ steht für … Es bietet denselben Wärmeschutz, lässt sich aber dank poliertem, gewelltem Edelstahl, reflektierender Isolierung und vakuumisolierter Ummantelung schnell biegen und installieren. In Reinräumen hält dieser Schlauch Partikel zurück, schützt vor Feuchtigkeit und bleibt auch bei häufigem Umbau der Werkzeuge formstabil. Durch die Kombination von starren Rohren mit flexiblem Schlauch erhalten Sie ein robustes und zugleich anpassungsfähiges System.
Um das gesamte Kryonetzwerk mit maximaler Effizienz zu betreiben, nutzen wir unsereDynamisches VakuumpumpensystemDas System überwacht und hält das Vakuum im gesamten System konstant. Mit der Zeit reichern sich in der Vakuumisolierung naturgemäß Spurengase aus Materialien und Schweißnähten an. Wird dies vernachlässigt, verschlechtert sich die Isolierung, Wärme dringt ein und der Verbrauch von flüssigem Stickstoff steigt. Unser Pumpensystem sorgt für ein starkes Vakuum, sodass die Isolierung ihre Wirksamkeit behält und die Anlagen länger halten – ein entscheidender Vorteil für Fertigungsanlagen, die rund um die Uhr laufen, wo selbst geringe Temperaturschwankungen die Produktion beeinträchtigen können.
Für eine präzise Durchflussregelung, unser VakuumIsoliertes VentilHier kommen sie ins Spiel. Wir konstruieren sie mit extrem niedriger Wärmeleitfähigkeit, dichten, heliumgeprüften Dichtungen und Strömungskanälen, die Turbulenzen und Druckverluste minimieren. Die Ventilkörper bleiben vollständig isoliert, sodass sich kein Frost bildet und sie auch bei schnellem Öffnen und Schließen reibungslos funktionieren. In sensiblen Bereichen wie der Luft- und Raumfahrtbetankung oder der medizinischen Kryotherapie bedeutet dies absolute Kontaminationsfreiheit und keine Feuchtigkeitsprobleme.
Unsere VakuumisolierungPhasentrennerEs hält den nachgelagerten Druck konstant und verhindert Schwankungen zwischen flüssigem und gasförmigem Stickstoff. Durch die kontrollierte Verdampfung in einer vakuumisolierten Kammer wird der Phasenhaushalt des flüssigen Stickstoffs reguliert, sodass nur hochreines flüssiges Stickstoffprodukt die Anlagen erreicht. In Chipfabriken verhindert dies Temperaturschwankungen, die die Waferausrichtung oder das Ätzen beeinträchtigen könnten. In Laboren gewährleistet es konsistente Experimente; an LNG-Terminals erhöht es die Sicherheit durch die Reduzierung unerwünschter Verdampfungsverluste.
Durch das ZusammenbringenVakuumisoliertes Rohr,Flexibler Schlauch,Dynamisches Vakuumpumpensystem,Isoliertes Ventil, UndPhasentrennerHL Cryogenics bietet Ihnen mit diesem System eine robuste, energieeffiziente und zuverlässige kryogene Transferanlage. Diese Systeme senken die Betriebskosten durch die Reduzierung von Flüssigstickstoffverlusten, verbessern die Sicherheit, indem sie Kondensation an der Außenseite verhindern, und gewährleisten eine gleichbleibende Leistung – selbst unter Druck.
Veröffentlichungsdatum: 19. November 2025
