Das Herzstück der Molekularstrahlepitaxie (MBE): Warum die Phasentrennung für das Wachstum von Galliumnitrid (GaN) entscheidend ist

Bei der Halbleiterfertigung, insbesondere der Molekularstrahlepitaxie (MBE), ist eine stabile thermische Umgebung von entscheidender Bedeutung. Nur so lassen sich reine Kristalle und gleichmäßige Schichten herstellen.'Daran führt kein Weg vorbei. Wir bei HL Cryogenics wissen, dass die eigentliche Herausforderung beim Wachstum von Galliumnitrid (GaN) in der präzisen Kontrolle der Zufuhr von flüssigem Stickstoff (LN₂) liegt.) zu den Kryohüllen. Es'ein PräzisionsspielJeder Tropfen muss reine, unterkühlte Flüssigkeit sein, genau dort, wo es darauf ankommt. Sollte gasförmiger Stickstoff hineingelangen, …meist aufgrund von Wärme, die während des Transfers eindringt.Man bekommt Hotspots undSpuckeninnerhalb der MBE-Kammer. Das'Das sind schlechte Nachrichten für die Qualität von GaN-Filmen.

Hier findet unserVakuumisolierter PhasenseparatorWir gehen noch einen Schritt weiter. Indem wir es direkt am Ende der Flüssigstickstoff-Zuleitung anbringen, fangen wir die entstehende Gasflamme auf und entfernen sie, bevor sie Schaden anrichten kann. Das Ergebnis? Ein gleichmäßiger, dichter Flüssigkeitsstrom – genau das, was Sie brauchen. Es arbeitet perfekt mit unserem System zusammen.Vakuumisoliertes RohrUndFlexibler SchlauchBeide Rohre sind so konstruiert, dass sie das Eindringen von Außenwärme verhindern. Das Rohr nutzt eine fortschrittliche Vakuumisolierung und Mehrschichttechnologie, um die Kälte im Inneren zu halten und den Flüssigstickstoffverlust im Vergleich zu herkömmlichen Schaumstoffrohren deutlich zu reduzieren. Und für Bereiche, in denen Flexibilität erforderlich ist oder eine knifflige Verlegung vorliegt, bieten wir unsereVakuumisolierter flexibler SchlauchEs lässt sich biegen und bewegen, ohne dabei an Isolierung oder Sicherheit einzubüßen.

Um diese Vakuumwerte über Jahre hinweg konstant zu halten, verlassen wir uns auf unsereDynamisches Vakuumpumpensystem. Es'Wir überwachen und halten den Druck im Vakuummantel permanent aufrecht, sodass die Isolierung stets zuverlässig funktioniert. Zur Durchflussregelung verwenden wir unser präzisionsgefertigtes, vakuumisoliertes Ventil. Es verhindert thermische Kurzschlüsse und Eisbildung an der Spindel und gewährleistet selbst bei -196 °C ein dichtes Absperren und eine präzise Drosselung.°C.

Vakuumisolierte Ventile1
Vakuumisolierter flexibler Schlauch3

Benötigen Sie dezentrale Speicher oder eine lokale Versorgung? Unser Mini-Tank ist robust genug für hochreine kryogene Netzwerke. Unsere Systeme sind überall im Einsatz.Man denke an Luft- und Raumfahrttests, medizinische Labore, riesige LNG-Terminals und Reinräume für die Halbleiterindustrie.Denn Zuverlässigkeit ist für uns unerlässlich. Wir verwenden hochwertigen Edelstahl und legen Wert darauf, dass alles sicher und effizient funktioniert.

Durch die Reduzierung des Gas-Flüssigkeits-Verhältnisses mit unseremPhasenseparatorWir bieten Ihnen die stabilen kryogenen Bedingungen, auf denen die GaN-Produktion beruht. Wir'Sie haben auch die Wartung vereinfacht.Dynamisches VakuumpumpensystemDas bedeutet weniger manuelles Staubsaugen, und Sie können dieVakuumisoliertes VentilSitzen, ohne das Vakuum zu unterbrechen. Ob Sie'Ob es um den Transport von flüssigem Stickstoff, flüssigem Sauerstoff oder LNG geht – unsere Rohre und Schläuche bilden ein reibungsloses, leckagefreies System.'Es geht nicht nur um Rohre und Schläuche.Sie'Präzisionswerkzeuge für das Wärmemanagement.

Wir bei HL Cryogenics wissen, dass jedes Element der kryogenen Transferlinie einwandfrei funktionieren muss, damit das GaN-Wachstum erfolgreich ist. Wenn Sie darüber sprechen möchten, wie unsere kundenspezifischen Lösungen und unsere erstklassige Vakuumisolierung Ihr Projekt optimieren können, kontaktieren Sie uns.we'Wir sind bereit, Ihnen dabei zu helfen, alles richtig zu machen.

Vakuumisoliertes Ventil
Vakuumisolierter Phasenseparator 2

Veröffentlichungsdatum: 31. Dezember 2025